特長:

流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。


用途:

設備や塗装エアの消費流量管理。
半導体製造装置パージガスの流量管理。
イオナイザの流量管理。
微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
ノズルやフィルタの目詰まり検知。


仕様:

最大流量(L/min):200
接続サイズ:ワンタッチφ8
分解能(L/min):0.10
対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)
精度:±1%F.S以下
耐圧保証:1MPa
耐熱温度:0~50℃(結露なきこと)
容器保護等級:IP40


注意:

計量法に適合していませんので、工業用センサーとして使用してください。
一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルターを設置してください。
表示機能分離タイプもございます。